约翰·霍普金斯大学材料科学家兼机械工程师Kevin J. Hemker携团队已在新材料研发方面取得成功,该材料有助于确保这类传感器(即人们熟知的“微机电系统”MEMS)能继续满足未来技术前沿的要求。
该校威汀工程学院(Whiting School of Engineering)机械工程学(Mechanical Engineering)的Hemker表示:“多年前,我们就开始尝试采用更为复杂的复合材料制造MEMS设备。”
大多数微机电设备(MEMS)内部结构复杂,其尺寸比人类发丝的宽度还要小,主要成分为硅。在常温下,该类设备运作良好,但在适度受热(加热几百摄氏度)后,该材料将导致其丧失强度及电子讯号的传导能力。此外,硅较脆,易破碎。
尽管如此,硅一度是微机电系统技术的核心材料,其产品历经数代而不衰。然而,如今该材料却并未制造商们的理想选择,未来这类MEMS设备将被用于物联网技术的相关设备中,该类设备对材质的耐高温、耐高压的要求很高。显而易见,硅无法胜任该要求。
研发新款合金薄膜
Hemker表示:“这就要求科研人员研发强度与密度更大,导电、导热能力更强的先进材料。此外,对形状维持的要求也较高,其制作及塑形务必要符合微观标准。据称,目前尚无符合上述特性的MEMS材料。”
为研发这类新材料,研究人员考虑结合使用含镍金属,这是一款常用的先进结构材料(advanced structural materials)。例如,镍基超合金(Nickel-base superalloys)就被用于制造喷气式发动机。鉴于外形稳定性的需求,研究人员做了大量实验,他们将金属钼(molybdenum)、钨(tungsten),力图提升纯镍受热膨胀对应的温度界限值。
约翰·霍普金斯大学的研究团队采用的试验设备尺寸较大,与冰箱相近,该团队采用离子去击中目标物,将合金气化并保持原子状态,使其积聚在表面或基材上,进而产生了一款可剥离的薄膜,最终生成了一款独立合金薄膜(freestanding films),其平均厚度在29微米,比人类发丝还小。
这类独立薄膜拥有超强的特性。该薄膜在进行拉伸试验时展现了极强的抗拉强度,这意味着形状保持能力极强,不会变形或破碎,其抗拉强度是高强度钢的三倍。尽管极少数其他材料也有类似的抗拉强度,但那些材料既不耐高温,也无法轻易加工成形并制造MEMS部件。
Hemker表示:“我们认为合金将有助于提升其强度及耐热性(thermal stability),但我们不知道对性能提升的作用会有这么大。”
由于该合金内部晶体结构的原子排列方式,该材料的强度特别高。该结构强化了材料的强度,且不会对该材料的导电性能产生影响。